DOI: 10.15330/pcss.18.3.309-312

О.Ю. Бончик, С.Г. Кияк, І.А. Могиляк, Д.І. Попович

Особливості формування морфології поверхні кремнієвих пластин при дії лазерних імпульсів

Інститут прикладних проблем механіки і математики ім. Я.С.Підстригача НАН України, вул. Наукова, 3Б, Львів, 79060, Україна

В роботі проведено експериментальні дослідження особливостей геометрії поверхні кремнієвих пластин в зонах дії секундних і мілісекундних лазерних імпульсів. Наведені результати мікроскопічних досліджень періодичних структур, які формуються на поверхнях з кристалографічною орієнтацією (111), (110), (100), а також на площинах, вирізаних під кутом 6о до площини (100) і на аморфних шарах В₂О₃, нанесених на поверхню кремнію. Одержані результати можуть бути використані для визначення кристалографічної орієнтації поверхні напівпровідників та експресної оцінки ступеня розорієнтації поверхні кристалів.
Ключові слова: електронно-діркова плазма, рекристалізована область, періодичні структури.

Література

[1] Є.Ф. Венгер, О.Ю. Семчук, О.О. Гаврилюк,. Лазер-індуковані наноструктури в твердих тілах ( Академперіодика, Київ, 2016).
[2] Б.К. Котлярчук, Л.Г. Мансуров, Г.В. Пляцко, Д.И. Попович, В.Г. Савицкий, Украинский физический журнал 27(7), 1066 (1982).
[3] B. Kovalyuk, V. Mocharskyi, Yu. Nikiforov, V. Onisimchuk, D. Popovych, A. Serednytski, V. Zhyrovetsky, Physica Status Solidi (с) 10(10), 1288 (2013).
[4] А.Ю. Бончик, В.В. Гафийчук, С.Г. Кияк, Г.В. Савицкий, Поверхность (физика, химия, механика) 5, 142 (1986).
[5] В.В. Гафійчук, В.Э. Гашпар, ДАН УССР, Сер. А. 9, 74 (1985).
[6] Б.С. Кернер, В.В. Осипов, Журнал єкспериментальной и теоретической физики 74(5), 1675 (1978).