DOI: 10.15330/pcss.18.2.184-186

Б.П. Яцишин, Н.І. Доманцевич

Зміна структури та електропровідних характеристик тонких плівок під час довготривалого старіння

Львівський торговельно-економічний університет, 79008, Україна, Львів, вул. Туган-Барановського, 10, е-mail: bogdan.yatsyshyn7@gmail.com; nina.domantzevich@gmail.com

Досліджено зміну структури поверхні та електропровідні характеристики кристалічних тонких плівок тернарних сполук (La, Y, Sc)-(Ni, Fe)-Ge з вмістом металу не більше 50 ат. %, які були отримані методами вакуумного напилення. Показано напрямки росту дефектності плівок при старінні більше 20 років, проаналізовано їх вплив на електропровідні характеристики конденсатів.
Ключові слова: тонкі плівки, старіння, електронна мікроскопія.

Література

[1] Д.М. Фреїк, Б. П. Яцишин, Фізика і хімія твердого тіла 8(1), 7 (2007).
[2] Б.П. Яцишин, Матеріали та технології формування аморфних та наноструктурних плівок на основі германідів РЗМ (Видавництво Львівської комерційної академії, Львів, 2008).
[3] Л.С. Палатник, И.И. Папиров, Эпитаксиальные пленки (Металлургия, Москва, 1970).
[4] Л.С. Палатник, И.И. Папиров, Ориентированная кристаллизация (Металлургия, Москва, 1967).
[5] Э.И. Точицкий, Кристаллизация и термообработка тонких пленок (Минск, 1976).