DOI: 10.15330/pcss.17.2.275-280

В.В. Довгий, І.Т. Когут, В.І. Голота

Розробка і моделювання елементів аналітичної мікросистеми-на-кристалі зі структурами “кремній-на-ізоляторі”

Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника, вул. Шевченка, 57, Івано-Франківськ, 76000, Україна, e-mail: igorkohut2202@gmail.com

В роботі наведено результати розроблення архітектури, проектуванню топології аналітичної мікросистеми-на-кристалі зі структурою «кремній-на-ізоляторі» (КНІ) та схемотопологічному моделюванню її елементів для визначення їх електричних і часових характеристик.

Ключові слова: аналітична мікросистема-на-кристалі, структура «кремній-на-ізоляторі», базовий матричний кристал, кільцевий генератор.

Література

[1] I.T. Kohut, A.O. Druzhynin, V.I. Holota, V.V. Dovhyy, Elementy analitychnykh mikrosystem-na-krystali na osnovi tryvymirnykh KNI-struktur. Zbirnyk tez 5-toyi ukrayins'koyi naukovoyi konferentsiyi z fizyky napivprovidnykiv (Uzhhorod, 2011). S.190.

[2] I.T. Kogut, V.I. Holota, A.A. Druzhinin, V.V. Dovhij, Journal of Nano Research 39, 228 (2015).

[3] I.T. Kogut, V.I. Holota, A.O. Druzhinin, V.V. Dovhij, NATO Advanced Research Workshop “Functional Nanomaterials and Devices for Electronics, Sensors, Energy Harvesting” (Lviv, Ukraine, 2015). – Sonf. Abs. – P.17.

[4] http://www.microwind.org.

[5] Patent # 62994 Ukrayiny na korysnu model'. Zayavka u201101326. Komirka bazovoho matrychnoho krystala / Druzhynin A.O., Kohut I.T., Holota V.I., Khoverko Yu.M., Dovhyy V.V., Vuytsyk A.M. - MPK G01B 7/16(2006.01), G01L 9/14(2006.01), opubl. 26.09.2011, byul. #18/2011.