DOI: 10.15330/pcss.17.2.247-250

Є.Є. Гвоздієвський¹, Р.О. Денисюк¹, В.М. Томашик², З.Ф. Томашик²

Хімічна обробка CdTe та твердих розчинів Zn_xCd_1-xTe і Cd_0,2Hg_0,8Te водними розчинами HNO₃–НІ–лактатна кислота

₁Житомирський державний університет імені Івана Франка;
²Інститут фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова НАН України

Методом диску, що обертається, досліджено кінетику процесів розчинення CdTe, ZnxCd_1-xTe та Cd_0,2Hg_0,8Te в йодвиділяючих травильних композиціях HNO₃–НІ–лактатна кислота. Визначено залежності швидкості травлення вказаних матеріалів від концентрації окиснювача та органічного розчинника. Оптимізовано склади поліруючих травників і режими хіміко-динамічного полірування поверхні досліджуваних напівпровідникових матеріалів. Встановлено вплив вмісту Zn та Hg у складі твердих розчинів на якість отриманої поверхні у травильних сумішах. Ключові слова:напівпровідник, тверді розчини, монокристал, травник, поверхня, хімічне травлення, полірування.

Література

[1] Є.O. Bіlevich, V.M. Tomashik, Z.F. Tomashik, S.G. Danilenko, Fіzika і hіmіja tverdogo tіla1(2), 267 (2000).

[2] Z.F. Tomashik, O.R. Gumenjuk, V.N. Tomashik, P.I. Fejchuk, Kondensirovanye sredy i mezhfaznye granicy5(3), 248 (2003).

[3] B.D. Luft, V.A. Perevoshhikov, L.N. Vozmilova, I.A. Sverdlin, K. G. Marin, Fiziko–himicheskie metody obrabotki poverhnosti poluprovidnikov (Radio i svjaz', Moskva, 1982).

[4] Є.O. Bіlevich, V.M. Tomashik, Z.F. Tomashik, S.G. Danilenko, Fіzika і hіmіja tverdogo tіla1(2), 267 (2000).

[5] Z.F. Tomashik, S.G. Danilenko, P. Siffert, V.N. Tomashik, P.I. Fejchuk, E.O. Bilevich, Optojelektronika i poluprov. tehnika 35, 57 (2000).

[6] Z.F. Tomashik, E.O. Bilevich, V.N. Tomashik, Kondensir. sredy i mezhfaz. granicy 3(3), 237 (2001).